高纯六氟化硫
用途:在半导体生产中用作高密度等离子刻蚀的氟源,不会产生含碳副产品;
变压器中的绝缘介质;
金属冶炼中的保护气氛;
六氟化硫断路器、互导传感器、六氟化硫避雷针的灭弧气体
电子级高纯六氟化硫作为一种理想的电子蚀刻气体,广泛应用于微电子技术领域
作为光导纤维制造中的单膜光纤隔离层掺杂剂
作为大气污染监测和水文地质检测领域的示踪剂
肝i脏肿i瘤的超声造影检查的造影剂也作为六氟化硫的用途
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主要用途
1.用于霓虹灯及作为电子工业的填充介质(例如高压Ar灯、计数管等);
2.用于激光技术,做视发光指示灯、电压调节,以及激光混合气成份;
3.Ar氧混合气代替氦氧气用于呼吸;
4.用作低温冷却剂,标准气、特种混合气等;
5.用于高能物理研究,让Ar充满火花室来探测和微粒的行径。
注意事项
危险性 该品在高浓度时,可使空气中氧分压降低而有窒息危险。表现有呼吸加快、注意力不集中i、共济失调;继之出现疲倦乏力、烦躁不安、恶心、呕吐、昏迷、抽搐,以致死i亡。进行生产时一般不需特殊防护。但当作业场所空气中氧气浓度低于18%时,必须佩戴空气呼吸器、氧气呼吸器或长管面具 。
电子气体
电子工业是当今推动科技发展的高新技术产业,由于所用气体的品种多、质量要求高,为有别于其它领域应用的气体,人们把这类在电子工业中用的气体统称为电子特种气体,它是当今兴起的高技术含量、高投人、高附加值的高新技术产业 电子气体的应用领域主要在半导体集成电路生产制造、非晶硅太阳能电池、液晶显 示器件、光导纤维生产四大领域,其中主要应用于半导体集成电路的生产。 半导体工业用气体的特点是品种多、质量要求高、用量少,大部分是有毒或腐蚀性气体。
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