洁净空间的温湿度主要是根据工艺要求来确定,但在满足工艺要求的条件下,应考虑到人的舒适度感。随着空气洁净度要求的提高,出现了工艺对温湿度的要求也越来越严的趋势。具体工艺对温度的要求以后还要列举,但作为总的原则看,由于加工精度越来越精细,所以对温度波动范围的要求越来越小。例如在大规模集成电路生产的光刻曝光工艺中,作为掩膜板材料的玻璃与硅片的热膨胀系数的差要求越来越小。
净化工程所需要的材料:
1. 净化厂房墙、顶板材一般多采用50mm厚的夹芯彩钢板制造,其特点为美观、刚性强。圆弧墙 角、门、窗框等一般采用氧化铝型材制造。
2.地面可采用环氧自流坪地坪或耐磨塑料地板,有防静电要求的,可选用防静电型。
3.送回风管道用热渡锌板制成,贴净化保温效果好的阻燃型PF发泡塑胶板。
4.送风口用不锈钢框架,美观清洁,冲孔网板用烤漆铝板,不生锈不粘尘,宜清洁。
在无尘车间的选址上要符合无尘车间的要求,可以方便企业进行出产活动,并且考虑到资源的便捷和出资的金额。有车间就触及到有工人日子,因而将地址选在方便日子和水质条件好的当地,遇到周围有污染源应该要提早考虑到危害性。车间内有许多的通道和线路需求提早设定好,防止因为触及的缺陷在后期运用的时分产生,可以将人行路途和车道别离设定,装备合理的线路和管道,无尘车间装饰要对将来的运用有效果,可以带给企业愈加便捷的操作流程才是合理的规划。
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