MEMS集成装置尤其是在生物传感器方面,已经成为心率、血压等涉及到身体健康生物信号监测的重要器件,在严苛的环境中膜层防护性要求能具有较好的稳定性是关键。涂覆了派瑞林的工业级传感器,为手术机器人功能提升与柔性电子发展提供重要的技术支撑。
除了健康领域,MEMS柔性传感系统可应用的领域还包括运动行业、可穿戴机械设备、人造皮肤等等。如将柔性压力传感器内置在鞋子中,可以实时检测体重、发力姿势、身体平衡性等;可穿戴设备中的柔性传感器可以感知人的动作和用力情况,协助佩戴者提起重物、快速走动等;集成了柔性触力传感器的人造皮肤,可以用于义肢上,感知佩戴者的动作意图并协助其完成想要的动作。作为纳米涂层材料之一,派瑞林镀膜技术更好的提升了MEMS产品的表面防护性能。
气相沉积与金属喷镀不同,气相沉积不受视线阻碍,需镀膜的产品,其所有的表面皆会被气体单体紧密覆盖,而达到精细均匀、高质量的镀膜表层。
对于腐要求的粘结钕铁硼磁体如果使用时(包括装配,焊接)温度不超过130度可以选择采用,特别是对于小规格磁体不适用电泳的条件下具有很高的效率和良好的抗腐蚀能力,可以满足盐雾120小时。
盐雾试验分为二大类,一类为天然环境暴露试验,另一类为人工加速模拟盐雾环境试验。人工模拟盐雾环境试验是利用一种具有一定容积空间的试验设备——盐雾试验箱,在其容积空间内用人工的方法,造成盐雾环境来对产品的耐盐雾腐蚀性能质量进行考核。它与天然环境相比,其盐雾环境的氯化物的盐浓度,可以是一般天然环境盐雾含量的几倍或几十倍,使腐蚀速度大大提高,对产品进行盐雾试验,得出结果的时间也大大缩短。如在天然暴露环境下对某产品样品进行试验,待其腐蚀可能要1年,而在人工模拟盐雾环境条件下试验,只要24小时,即可得到相似的结果。 采用派瑞林(Parylene)封装的用于人工耳蜗植入的电极阵列,由于派瑞林涂层较低的杨氏模量,使得电极探针具有很好的硬度和韧性,同时可通过调整硅衬底的厚度来调整电极的柔软性,为制备的派瑞林(Parylene)涂层包裹的微电极阵列。派瑞林(Parylene)涂层所具有的透明性,使得在植入试验中能很好地监测探针植入深度,同时,电极被派瑞林(Parylene)涂层包裹,即使电极破碎,外层派瑞林(Parylene)涂层也将碎片连在一起,从而减小手术伤害和植入伤害。整个装置集成了位置传感器和派瑞林涂层包裹的传输线,实验表明,该装置能够提高人工耳蜗声音识别能力和位置的准确性。在制作多通道听觉假体时,变长度的神经刺激电极阵列也采用派瑞林涂层作为刺激电极的包裹材料,从而提高植入器件的生物相容性。原文链接:http://www.i816.net/caigou/show-3319.html,转载和复制请保留此链接。
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