一般干式真空泵的同步齿轮,在装配需要满足以上质量外,有些干式真空泵还有一些特殊的要求,比如说爱德华罗茨真空泵,它的两个转子互为共扼的型线架构,同时转子之间也是不相互接触的,因此它的所以动力来源都是这双同步齿轮的带动。
因此,保证转子的精度啮合外,齿轮精度啮合一样重要,这对我们真空泵维修以及新泵组装带来一定难度。这就要求我们在把转子啮合装配好后,应当把具体的位置先固定下来,在装配时h加以标识,这样才能更为准备清晰的把螺钉锁紧以及保证定位销的安装到位,只有这样才能保证齿轮之间,转子之间的啮合的精度,不然会因为齿轮以及转子间隙的不平衡导致泵浦异常运作。
技术
Edwards 的 Stokes Microvac 泵是一款 独立的油封滑阀泵,其低转速、大间隙的设计 可实现更长的使用寿命。一种新的密封阀设计, 改进了 O 形圈密封区域,全封闭的风冷却式电机确保 噪音更低、耗电更少,并且为客户延长了维修时间间隔。较低 转速可减少活塞和滑动部件的损耗,从而延长 使用寿命,并增强处理微粒应用的能力。
一体化的 油分配系统不再需要外部管道, 通过的设计实现无泄漏运行。泵活塞通过一个偏心件安装在主传动轴上, 并通过两个自由摆动的铰接杆 进行支撑。活塞旋转时,空气通过活塞滑块进入泵内。当 活塞达到顶部中央位置时,进气口关闭, 捕获的空气随后被压缩,并随着活塞的继续旋转通过排气阀排放, 然后从舱室的排气出口排出。
应用
性能可以说明一切。Stokes Microvac 一直受到诸多加工应用的青睐,包括要求 严苛的重型应用。
汽车
涂层
化学加工
一般应用
热处理
泄漏检测
冶金
熔炼
PET 加工
制药
变压器 干燥
请联系 Edwards,探讨 如何利用我们种类丰富的真空解决方案满足您的需求、提高生产效率以及 减少成本。
真空泵维修是门的技术,不是换换轴承、换换油封那么简单,客户不要把您真空泵给一家不的厂家维修,很有可能导致真空泵提前报废,从而给您的生产带来损失。
要了解爱德华真空泵维修服务,首先先了解爱德华真空泵的知识爱德华真空泵是我国分析实验室中常见的真空泵之一 ,一般用作质谱仪真空系统的前级真空泵、用作色谱仪的进样真空泵以及其它真空系统 ,广泛应用于生物、法医、石化、农林、生命科学、航空航天等领域。
iXL 干式真空泵机组
iXL 系列干泵满足 平板显示器 (FPD)、半导体和太阳能制造市场 领域涉及的所有排气要求。
这些性能的 泵旨在大限度地提高基板吞吐量,同时尽可能降低功耗、 占地面积和重量。此外,大修间隔期内无须 维护。
适用于半导体和太阳能应用的小型 iXL 干泵
iXL120:紧凑型低能量的 110 m3/h 干泵,用于晶圆加工和其他清洁工作应用。它可 快速抽空负载锁定舱室,能耗极低。可 用于负载锁定和清洁应用的且轻的泵之一。 其低振动和低噪声级的优点使其适合于安装在机台上或 工厂的夹心层中,从而有助于节省宝贵的工厂地面空间。环保 模式可在空闲期间降低设备使用率,从而降低使用成本, 有助于保护环境。
尽量控制真空泵的流量和扬程在标牌上注明的范围内,以保证真空泵在效率点运转,才能获得da的节能效果。
真空泵在运行过程中,轴承温度不能超过环境温度35C,温度不得超过80C 。
如发现真空泵有异常声音应立即停机检查原因。
真空泵要停止使用时,先关闭闸阀、压力表,然后停止电机。
真空泵在工作第yi个月内,经100小时更换润滑油,以后每个500小时,换油一次。
经常调整填料压盖,保证填料室内的滴漏情况正常。
定期检查轴套的磨损情况,磨损较大后应及时更换。
真空泵在寒冬季节使用时,停车后,需将泵体下部放水螺塞拧开将介质放净。防止冻裂。
真空泵长期停用,需将泵全部拆开,擦干水分,将转动部位及结合处涂以油脂装好,妥善保管。
Edwards Drystar 80 干式真空泵易于安装和试运转,同时洁净、坚固、高,足以取代传统的油封泵。 GV80可处理大容量可冷凝蒸汽和颗粒负载,提供稳定的泵送性能、的维修干预和低运行成本。 Drystar 80 使用干泵技术,具备的密封设计,可消除真空制程中的污染,因此适合各种应用和环境。 Edwards真空泵 工业干泵 GV80 爪式真空泵 爱德华工业干泵 干式真空泵
概述
Edwards 是在一些严苛的应用环境中首先使用干真空泵的厂商。我们拥有 20 余年的经验,已在安装了 100000 多台 Drystar 泵。
我们的 GV Drystar 泵能够处理大量粉尘和水蒸汽,在保持高可重复性、和高可靠性的同时不会带来制程污染的风险。
Drystar 泵可以与 Edwards EH 系列机械增压泵结合以提高泵送性能。
维修完成后,注油前应用爱德华真空泵泵油冲洗真空泵,并用溶剂清洗注油口处的滤网,以保持油箱的清洁。抽不到真空泵的极限真空度:首先检查真空系统的气密性,看是否有轻微漏气。其次应打开气镇,让泵运行30分钟左右,来抽干非泵油污染引起的可压缩蒸汽,排除可压缩蒸汽对极限真空度的影响。
爱德华真空泵维修是门的技术,不是换换轴承、换换油封那么简单,客户不要把您真空泵给一家不的厂家维修,很有可能导致真空泵提前报废,从而给您的生产带来损失。
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